. Serpmeyle silah kalkanını çıkarın ve yerde püskürtme hedef tutanhalkasını sökün . Püskürtmeli tabanca üzerinemetalik oksit hedefi yerleştirin ve yerinde bir hassas tornavida ilehedef halkasını vidalayın. Serpmeyle silah kalkanı değiştirin. Substrat tutucu içineplastik tabakayı yerleştirin . Püskürtme sistemi kapatın .
2 gibi 10 ^ -6 milibar ayarı uygun basınç aşağıpüskürtme sistemi Pompa
. Kadar gereklialt tabaka bir birikimi maruz kalmamasıdeklanşör kapalı olduğundan emin olun . Yaklaşık 5 milibar basınç ulaşana kadarodasınasistemin argon gazı tanıtmak .
3radyo frekans güç kaynağı açın
. Görünür bir plazmapüskürtme odası içinde görülebilir kadar bekleyin. Deklanşörü açın . Plastik tabaka hemen metal oksit moleküllerinin bir birikimi maruz edilmektedir. İstenilen kalınlık elde edildiğindedeklanşöre kapatın .